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2013年3月19日-1033CN200810237334.5一(yi)種碳(tan)化硅匣(xia)缽磚生產工(gong)藝1034CN200710304217.1一(yi)種用于1071CN200910098875.9含碳(tan)的(de)碳(tan)化硅密封環及其制備方法1072CN200780044779.5。

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導體器件制造方法,其(qi)采用可(ke)以很容易(yi)地去(qu)除蝕刻阻止膜或碳化硅制成的硬掩膜的工藝$240200710171711一種(zhong)碳化硅陶瓷密(mi)封環(huan)[摘(zhai)要(yao)]本(ben)發明涉及一種(zhong)碳化硅陶瓷密(mi)封環(huan)。

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