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2013年3月19日-1032CN200910020810.2一種碳(tan)(tan)化硅基增強復合陶瓷及制(zhi)備方法1033CN200810237334.5一種碳(tan)(tan)化硅匣缽磚(zhuan)生產工藝1034CN200710304217.1一種用于微電子機械系統的碳(tan)(tan)化硅。

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