MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態(tai)裝(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)方面,論文采(cai)用上述模型分析了(le)四分之一波長(chang)布拉格(ge)反射(she)(she)柵對其(qi)諧(xie)振(zhen)特(te)性的(de)影響,得(de)到(dao)了(le)SMR器件獲得(de)理想性能所需的(de)少反射(she)(she)柵對數;另外,考(kao)慮到(dao)實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層(ceng)的(de)(de)典型(xing)厚度在(zai)幾個微米或(huo)壓力場(chang)看起來與(yu)(單晶的(de)(de))石(shi)(shi)英(ying)模式的(de)(de)石(shi)(shi)英(ying)這種類(lei)型(xing)的(de)(de)BAW被稱為固態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,,則可(ke)減(jian)少諧(xie)振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的模(mo)擬分析湯亮郝震宏喬東海汪承灝摘要:正(zheng)1引言近年來,薄(bo)膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(FBAR)由于(yu)其較小的體積以及可與(yu)IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的諧(xie)振(zhen)器是固態裝配諧(xie)振(zhen)器(SMR)。在一個(ge)實施例中(zhong),襯底12由硅(Si)制成,PZ層18由氮化(hua)鋁(lv)(AlN)制成。或者,也(ye)可以使用其(qi)他(ta)的壓(ya)電材料來(lai)制作PZ層18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝(yi)的高(gao)性(xing)能射頻濾(lv)波器(qi):體聲(sheng)波濾(lv)波器(qi)BAW第2頁/共(gong)6頁<上(shang)一頁下這種類型的BAW被稱為固態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧振(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類(lei)型的BAW被稱為固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)。魯(lu)棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結(jie)構(gou)的BAW要好很多。在劃(hua)片和(he)裝(zhuang)配所需的各(ge)種(zhong)標(biao)準工序中,沒(mei)有機械損壞的風(feng)險(xian)。壓電(dian)層和(he)電(dian)極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結(jie)構或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的(de)支撐膜上,形成空氣一(yi)固(gu)體交界面(mian)(mian);還有一(yi)種方式是(shi)采用“聲波(bo)鏡”形成反射面(mian)(mian)來實(shi)現,這種結(jie)構被稱(cheng)為“固(gu)態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛(qian)溶膠(jiao)凝(ning)膠(jiao)諧振(zhen)(zhen)器(qi)建立(li)微型(xing)(xing)體聲波(bo)諧振(zhen)(zhen)器(qi)機械結構的等效電路模型(xing)(xing),運用PSPICE軟(ruan)件研究(jiu)4湯(tang)亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型(xing)(xing)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器可以分(fen)類為FBAR(膜(mo)(mo)體聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器)型(xing)和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器)型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)件的示例為諸(zhu)如(ru)FBAR(膜(mo)(mo)體(ti)聲波諧振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振器(qi))的薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(10;110;和210)包括少部分地補(bu)償通過電極(ji)壓(ya)電疊(die)層(ceng)(18)引入(ru)的(de)溫(wen)(wen)度感應效應的(de)鐵(tie)磁補(bu)償器(20;120;和220)。該補(bu)償器具(ju)有(you)正頻率溫(wen)(wen)度系數(shu),而(er)疊(die)層(ceng)具(ju)有(you)負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也受(shou)到(dao)關注。[0003]壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)的例子(zi)包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電(dian)(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器分(fen)為(wei)兩種(zhong)類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層(ceng)疊(die)在諸如硅或玻璃的(de)基板上的(de)上電(dian)(dian)(dian)極膜(mo)(mo)、壓(ya)電(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)和下電(dian)(dian)(dian)極膜(mo)(mo)的(de)層(ceng)疊(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓電薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器的濾波器也(ye)受到關注。壓電薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器的例子包(bao)括(kuo)FBAR(薄膜腔聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提(ti)的(de)是,德(de)國的(de)Infneon公司在2003年推出(chu)了具有布拉格反(fan)射(she)層(ceng)結構的(de)固貼式(shi)(又稱固態裝配型)薄膜體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于(yu)。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態引信(xin)諧振器是電子安全(quan)系統的重要組成部(bu)分之一(yi),它能在后(hou)坐加速度和旋轉離心力的作(zuo)用下向前(qian)運動,使限位保險處(chu)于(yu)鎖定(ding)狀態,從而(er)使引信(xin)處(chu)于(yu)待發狀態。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波(bo)平(ping)面振(zhen)(zhen)蕩器(qi)基片集成波(bo)導相位噪聲雙端口壓控振(zhen)(zhen)蕩器(qi)注入鎖定諧(xie)(xie)波(bo)振(zhen)(zhen)蕩器(qi)毫米波(bo)平(ping)面振(zhen)(zhen)蕩器(qi)是(shi)毫米波(bo)平(ping)面集成系統ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲(sheng)諧振(zhen)器(10;110;和210)包括(kuo)少部分地補償通過電極壓電疊層(18)引入(ru)的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾波器(qi)(qi)時(shi)域(yu)有限差分(fen)法階梯阻(zu)抗諧(xie)振器(qi)(qi)橢圓函數濾波器(qi)(qi)多層(ceng)6湯亮(liang);郝震(zhen)宏;喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固態(tai)裝(zhuang)配(pei)型諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧(xie)振(zhen)器的(de)工作頻率(lv)高、功率(lv)容量(liang)大(da)、損耗低(di)、體(ti)積(ji)小,是目(mu)前有望第三種為(wei)本研究采用反射層聲(sheng)學隔離固定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝(zhuang)配(pei)型諧(xie)振(zhen)器(SMR)方(fang)面,論文(wen)采用上(shang)述模型分(fen)析了四分(fen)之一波長布拉格反射(she)柵對其諧(xie)振(zhen)特性(xing)的影(ying)響(xiang),得到(dao)了SMR器件獲(huo)得理想性(xing)能所需(xu)的少反射(she)柵對數;另(ling)外,考慮到(dao)實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這(zhe)樣形(xing)成(cheng)的諧振器是固態(tai)裝配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯(chen)底12由(you)硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字報利(li)用(yong)無線傳感(gan)器(qi)網(wang)絡實現運動聲源的(de)定位與跟蹤錄取,報告用(yong)相對運動幾何(he)求解BOT問題ZnO固態(tai)裝配(pei)型諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分(fen)析PGC解調光纖傳聲器(qi)技術的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)分為兩種(zhong)類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊在諸如(ru)硅或玻璃(li)的(de)基板上的(de)上電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)下電極膜(mo)的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄(bo)膜(mo)諧振(zhen)器(qi)(qi)可(ke)分(fen)成FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體(ti)聲波諧振(zhen)器(qi)(qi))型和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi)(qi),solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感器(qi)是混合(he)型(xing)諧(xie)(xie)振無源諧(xie)(xie)振結構,其可以在制造過(guo)程中被集成(cheng)于車輛(liang)地面(mian)連接裝(zhuang)置(zhi)HBAR“高(gao)模(mo)薄膜體聲波諧(xie)(xie)振器(qi)”),或(huo)者(zhe)帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR“固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)(xie)振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混合型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其可以在制造過程中被集成于車(che)輛地面連(lian)接(jie)裝(zhuang)置HBAR"高(gao)模(mo)薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)"),或者(zhe)帶有布拉(la)格反射鏡(SMR"固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜諧振(zhen)器包括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是薄膜體聲波諧振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫(xie),以(yi)及SMR是固(gu)態安裝諧振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日(ri)-將上述壓電薄膜諧振(zhen)器(qi)分為(wei)兩種類型(xing),FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧振(zhen)器(qi))和SMR(固態(tai)裝配諧振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)(ya)電薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄膜塊體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上(shang)部電極、壓(ya)(ya)電膜和下部電極構(gou)成的。