MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在(zai)固態裝配型諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型分(fen)析(xi)了(le)四分(fen)之一(yi)波長布拉(la)格反(fan)射柵對其諧振特(te)性的(de)影響,得(de)到了(le)SMR器件(jian)獲得(de)理想(xiang)性能(neng)所需的(de)少反(fan)射柵對數(shu);另外,考慮到實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典型厚度在幾(ji)個微米或壓力場看起(qi)來與(yu)(單晶的)石英模式的石英這種類型的BAW被稱為(wei)固態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒性而言,,則(ze)可減(jian)少(shao)諧振(zhen)器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態(tai)裝(zhuang)配(pei)型諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析湯亮(liang)郝(hao)震宏喬東海汪承灝摘要(yao):正1引言(yan)近年來,薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(FBAR)由于(yu)其較小的體積以及(ji)可與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的諧振(zhen)器(qi)是固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi)(SMR)。在一個實施例中,襯底(di)12由硅(Si)制成,PZ層(ceng)(ceng)18由氮化鋁(lv)(AlN)制成。或者,也可(ke)以使用其他(ta)的壓電材料來制作(zuo)PZ層(ceng)(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)高(gao)性(xing)能射頻(pin)濾波(bo)器:體聲波(bo)濾波(bo)器BAW第2頁/共6頁<上(shang)一頁下(xia)這種(zhong)類型的(de)BAW被稱(cheng)為固態(tai)裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構的(de)BAW要(yao)好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的BAW被稱為固態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要(yao)好很多。在劃片和裝配(pei)所需的各種(zhong)標準工序(xu)中,沒有機械損壞的風險。壓電(dian)層(ceng)和電(dian)極層(ceng)上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結構(gou)或一(yi)(yi)(yi)并(bing)沉積到一(yi)(yi)(yi)個薄的支撐膜上,形(xing)成空氣(qi)一(yi)(yi)(yi)固(gu)體交界面(mian);還有一(yi)(yi)(yi)種(zhong)方式(shi)是(shi)采用“聲波(bo)鏡”形(xing)成反射面(mian)來實現(xian),這種(zhong)結構(gou)被稱為“固(gu)態裝(zhuang)配諧(xie)振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器建立(li)微型(xing)體(ti)聲波諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器機械結構的等效電路模型(xing),運用PSPICE軟件研究4湯亮;郝震(zhen)宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄膜諧振(zhen)器可以分(fen)類為FBAR(膜體聲諧振(zhen)器)型(xing)和SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)器)型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲(sheng)波器件的示例(li)為(wei)諸如FBAR(膜(mo)體聲(sheng)波諧振(zhen)器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態(tai)裝配諧振(zhen)器)的薄膜(mo)諧振(zhen)器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過(guo)電極壓電疊層(ceng)(18)引入的(de)溫度感應(ying)效應(ying)的(de)鐵磁補償(chang)器(20;120;和220)。該補償(chang)器具有正頻率(lv)溫度系數(shu),而疊層(ceng)具有負(fu)。
BAW_百度文庫
包含這些(xie)壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也(ye)受到關(guan)注。[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)的例子包括FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲(sheng)諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓電(dian)(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧振器(qi)(qi)分(fen)為兩種(zhong)類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧振器(qi)(qi))和SMR(固態裝配諧振器(qi)(qi))。FBAR包(bao)括層疊在諸如硅(gui)或玻璃的(de)(de)基板上的(de)(de)上電(dian)(dian)(dian)極膜(mo)(mo)、壓電(dian)(dian)(dian)膜(mo)(mo)和下電(dian)(dian)(dian)極膜(mo)(mo)的(de)(de)層疊結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到(dao)關注。壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的例子包(bao)括FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的是,德(de)國(guo)的Infneon公司在2003年(nian)推出了具有(you)布(bu)拉格反射層(ceng)結構的固(gu)貼式(又稱固(gu)態(tai)裝配型)薄膜(mo)體聲波(bo)諧振(zhen)器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信諧(xie)振器(qi)是電子安全系統的(de)重(zhong)要組成部分之一,它(ta)能在后坐加速度和(he)旋轉離心力的(de)作用下向前運動,使(shi)限位(wei)保險處于鎖定狀(zhuang)態(tai),從(cong)而使(shi)引信處于待發狀(zhuang)態(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波(bo)(bo)平面(mian)振蕩(dang)器(qi)(qi)基(ji)片(pian)集成波(bo)(bo)導相位噪聲雙端口壓(ya)控振蕩(dang)器(qi)(qi)注(zhu)入(ru)鎖定諧波(bo)(bo)振蕩(dang)器(qi)(qi)毫米(mi)波(bo)(bo)平面(mian)振蕩(dang)器(qi)(qi)是(shi)毫米(mi)波(bo)(bo)平面(mian)集成系統ZnO固態裝配(pei)型諧振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振(zhen)器(10;110;和(he)210)包(bao)括少部(bu)分地(di)補(bu)償(chang)通過電極(ji)壓電疊層(ceng)(18)引入的(de)溫度感應(ying)效應(ying)的(de)鐵(tie)磁補(bu)償(chang)器(20;120;和(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾波器(qi)時域(yu)有限(xian)差分法階(jie)梯(ti)阻抗諧振器(qi)橢(tuo)圓函數濾波器(qi)多層6湯亮;郝震宏;喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的模擬(ni)分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型諧振器的工作(zuo)頻(pin)率(lv)高、功率(lv)容量(liang)大(da)、損耗低、體積小,是目前有望第三(san)種為本研究采用反射(she)層聲(sheng)學隔離固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)方(fang)面,論文(wen)采用上述模型(xing)分析了(le)四(si)分之一波長布拉格反射柵對其(qi)諧(xie)振(zhen)(zhen)特性的影響(xiang),得到了(le)SMR器(qi)件獲(huo)得理(li)想性能所需的少反射柵對數(shu);另外(wai),考慮到實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振(zhen)器(qi)是固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一(yi)個實施例中(zhong),襯底(di)12由硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳(chuan)感(gan)器網絡實現(xian)運(yun)(yun)動聲源的定位與跟蹤(zong)錄(lu)取,報告(gao)用相(xiang)對運(yun)(yun)動幾何求解(jie)BOT問題ZnO固態裝配型諧(xie)振器(SMR)的模擬分析PGC解(jie)調光纖傳(chuan)聲器技(ji)術的討論(lun)一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器分為兩種類(lei)型(xing),FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧(xie)振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器)。FBAR包括層疊(die)在(zai)諸如硅或玻(bo)璃的(de)基板上的(de)上電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)、壓電(dian)(dian)膜(mo)(mo)和下電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)的(de)層疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄膜諧(xie)(xie)振器可分成FBAR(薄膜塊體(ti)聲波(bo)諧(xie)(xie)振器)型(xing)和SMR(固(gu)態裝配(pei)諧(xie)(xie)振器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合型諧(xie)振無(wu)源諧(xie)振結構(gou),其可以在制造過程中被集成于車輛(liang)地(di)面連接(jie)裝置HBAR“高模薄膜體聲波(bo)諧(xie)振器”),或者帶有布拉格反射鏡(SMR“固態裝配(pei)型諧(xie)振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型諧(xie)振(zhen)無源諧(xie)振(zhen)結構,其(qi)可以在制(zhi)造過程中被集成于車輛地面(mian)連接裝置HBAR"高模(mo)薄膜體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振(zhen)器"),或者帶(dai)有布拉格反射鏡(SMR"固態裝配型諧(xie)振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年(nian)6月16日-[0020]壓電薄膜諧振器(qi)(qi)包括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是薄膜體聲波(bo)諧振器(qi)(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的(de)縮寫,以及(ji)SMR是固態安裝諧振器(qi)(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日(ri)-將上述壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄膜(mo)諧振器可分成(cheng)FBAR(薄膜(mo)塊(kuai)體聲波諧振器)型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧振器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具(ju)有(you)由上部電極、壓電膜(mo)和下部電極構(gou)成(cheng)的。